產品特點

多工位手套箱凈化防護系統

水氧含量≤0.1ppm

德國寶德電磁閥模塊化設計，優良的密封性能

歐洲工藝要求

寬壓力范圍運行到10 -9 Torr

低排氣

優異的薄膜均勻性和沉積速率

高效的濺射靶材利用率

優異的目標管理機制消除了對熱膏，管理人員等的需要。

緊湊型，模塊化磁體陣列

磁鐵未暴露于真空、磁鐵未暴露于冷卻水中

靶材更換期間，冷卻水不會暴露在真空室內

不平衡的操作和帶磁材料的兼容性是可用的

全系列配件（通氣，煙囪，百葉窗，集群陣列等）

定制濺射源配置可用

產品應用

半導體工業中MOCVD技術、微電子半導體、OLED/PLED開發與生產、鋰離子電池開發與生產、納米材料研究、催化劑研究、鈣鈦礦太陽能電池的研發。