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2020-04-15 返回

伊特克斯真空鍍膜設備的制造方法

在OLED顯示面板的制造過程中，需要在玻璃基板上進行有機膜層的真空蒸鍍，該工作步驟需要在真空蒸鍍機內來完成。因此，伊特克斯惰性氣體系統提供一種手套箱蒸鍍一體機，本系統由真空鍍膜系統和真空手套箱系統集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍，并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。真空鍍膜系統優點：蒸發鍍膜與手套箱組合，實現蒸鍍、封裝、測試等工藝全封閉制作，使整個薄膜生長和器件制備過程高度集成在一個完整的可控環境氛圍的系統中，消除有機大面積電路制備過程中大氣環境中不穩定因素影響，保障了高性能、大面積有機光電器件和電路的制備。真空鍍膜系統主要用于太陽能電池鈣鈦礦、OLED和PLED、半導體制備等實驗研究與應用。