面板：8 mm厚安全鋼化玻璃  或 10 mm厚度聚碳酸酯 (可供選擇)

尺寸：1735mm(L) x 839mm(H)

硬鋁合金材質或聚甲醛材料 (可供選擇)

口徑 220 mm, O型圈密封

材料：丁基橡膠

厚度： 0.4 mm 或 0.8mm(可供選擇)

檢漏依據 ISO 10648-2 ：1994 / EJ/T 1096-1999《密封箱室——第二部分：密封性分級以及相關的檢驗方法》中的含氧法和壓力變化法對箱體進行檢測，按照一級密封性< 0.001 vol%/h的標準進行最終驗收測試。

自動去除 H2O 和 O2

單凈化柱系統，自動再生（可選GP200雙凈化柱）

密閉的氣體循環管路

工作氣：N2、Ar 、He（純度≥99.999%）

再生氣：H2占5%—10%，其余的為工作氣（純度≥99.999%）

規格：旋片真空泵,  配帶油霧過濾器, 帶氣鎮控制

流量：12 m3/h (7 cfm), 雙基片,真空度< 2 x 10-3 mbar  或干泵(可供選擇)

無油高速風機

風量：80 m3/h

檢漏依據 ISO 10648-2 ：1994 / EJ/T 1096-1999《密封箱室——第二部分：密封性分級以及相關的檢驗方法》中的含氧法和壓力變化法對箱體進行檢測，按照1級密封性< 0.001 vol%/h的標準進行最終驗收測試。

600mm（L） x 800mm（D） x 870mm（H）

不銹鋼 type 304 (1.4301), 厚度 3 mm

< 1 x 10-2 mbar

不銹鋼 type 304 (1.4301), 厚度 2 mm

< 1 x 10-2 mbar

205 mm（L） x 80 mm（W） x 60 mm（H）

0-1000 ppm

GE oxy.IQ? Oxygen Transmitter

205 mm（L） x 80 mm（W） x 60 mm（H）

0-500 ppm

GE VeriDri? Dew-Point Transmitter

材料: 不銹鋼1.4301 (US type 304), 厚度 3 mm

內部尺寸: 220mm(Φ) x 450mm(H)

優質活性炭

通過高效100級潔凈環境過濾凈化系統將箱體中的受控環境中的懸浮粒子數大于胡等于要求粒徑的最大濃度限制（個/m3）

≥（懸浮粒子直徑）5.0μm小于29個/m3

≥（懸浮粒子直徑）0.5μm小于3520個/m3

《潔凈室施工及驗收規范》GB50591-2010

《潔凈室及相關受控環境》GB/T25915.3-2010