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2021-09-08
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手套箱該如何清洗呢?
1. 準備好兩瓶(滿地) Ar (氬氣)
2. 減壓閥接“作業氣”接口
3.手套箱開機
4. 關閉循環(真空泵開著) ,其他也都關閉。
5. 將副表氣壓調至 0.2MPa
6. 點觸摸屏上“清洗” ,然后顯現一個屏幕,只需點“初步”就行了。
7. 清洗初步后,調度減壓閥副表使箱內相對壓力為“ 0.3-0.5M Pa 即可
8. 設定清洗時刻為 30分鐘(即 30分鐘把 Ar 氣放完,放不完,接著再點初步接著放,直到放完, )
9. 放完后自動跳出關閉,然后,點關閉,關閉清洗,再換一瓶 Ar 氣,重復以上進程即可。 (一般一瓶氬氣就行了)
10. 清洗后,翻開循環就可正常作業了。 (循環副表氣壓一般:0.4-0.6 MPa)