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整機生產國產自主化,核心零部件專利自有 300mm Load Port內關鍵結構與設計均為富創得自主專利,設計與生產均在富創得自有生產基地內進行。軟硬件垂直整合,保證設備的標準性與一致性。
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符合SEMI標準與通用規格的軟硬件設計 整機依照SEMI E47.1、 E26 標準設計與制造,運用RS-232 HEX通信協議與對接設備通訊。也可拓展多種通訊與對接方式。
多樣化的功能配置選項,適用多種工況 原廠自帶的Wafer Mapping,利用自研的先進控制算法,可以實現晶圓厚片、疊片、斜片檢測??蛇x的E84通訊協議、氮氣置換等功能,滿足各種現場需求。