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從2000年初開始提供Lamina系列的晶圓sorter /EFEM,在全球范圍內安裝了近300多臺晶圓sorter。 Fortrend擁有并生產所有關鍵部件,如robot、SMIF開合器、晶圓校準器、ME和控制軟件。Fortrend提供標準的sorter配置,也可進行定制。Fortrend的晶圓Sorter經過現場驗證,高通量且可靠,在價格…
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晶圓sorter是一種經過現場驗證的高通量、可靠的分選系統,在價格和性能上具有很強的競爭力
比一級(ISO-3)潔凈
靈活的ID讀取系統符合SEMI M12, M13,M1.15
單臂和雙臂機器人的靈活配置
統一的sorter框架,支持200mm和300mm的應用程序,允許在200mm和300mm之間輕松轉換(升級),雙端口,3端口和4端口配置
可選RFID/智能標簽/條形碼批次跟蹤系統
可選200/300mm晶圓混合分選系統
可選電源中斷UPS和Raid-5數據庫保護
TUV公司認證S2/S8/S9/S22/CE(見證書)
300mm輸送設備完全滿足SEMI標準(包括但不限于E84/E47.1/F47)