面板：8 mm厚安全鋼化玻璃  或 10 mm厚度聚碳酸酯 (可供選擇)

尺寸：1123mm(L) x 839mm(H)

硬鋁合金材質或聚甲醛材料 (可供選擇)

口徑 220 mm, O型圈密封

材料：丁基橡膠

厚度： 0.4 mm 或 0.8mm(可供選擇)

檢漏依據 ISO 10648-2 ：1994 / EJ/T 1096-1999《密封箱室——第二部分：密封性分級以及相關的檢驗方法》中的含氧法和壓力變化法對箱體進行檢測，按照一級密封性< 0.001 vol%/h的標準進行最終驗收測試。

自動去除 H2O 和 O2

單凈化柱系統，自動再生（可選GP200雙凈化柱）

密閉的氣體循環管路

工作氣：N2、Ar 、He（純度≥99.999%）

再生氣：H2占5%—10%，其余的為工作氣（純度≥99.999%）

規格：旋片真空泵,  配帶油霧過濾器, 帶氣鎮控制

流量：12 m3/h (7 cfm), 雙基片,真空度< 2 x 10-3 mbar  或干泵(可供選擇)

無油高速風機

風量：80 m3/h

檢漏依據 ISO 10648-2 ：1994 / EJ/T 1096-1999《密封箱室——第二部分：密封性分級以及相關的檢驗方法》中的含氧法和壓力變化法對箱體進行檢測，按照1級密封性< 0.001 vol%/h的標準進行最終驗收測試。

600mm（L） x 800mm（D） x 870mm（H）

不銹鋼 type 304 (1.4301), 厚度 3 mm

< 1 x 10-2 mbar

不銹鋼 type 304 (1.4301), 厚度 2 mm

< 1 x 10-2 mbar

205 mm（L） x 80 mm（W） x 60 mm（H）

0-1000 ppm

GE oxy.IQ? Oxygen Transmitter

205 mm（L） x 80 mm（W） x 60 mm（H）

0-500 ppm

GE VeriDri? Dew-Point Transmitter

材料: 不銹鋼1.4301 (SUS type 304), 厚度 3 mm

內部尺寸: 220mm(Φ) x 450mm(H)

優質活性炭

獨立控制系統，集成在箱體側板，溫度-35℃，容積18L或32L可選

主體304不銹鋼板材，5層可變隔層

R404環保型制冷劑，原裝進口

ISO9001認證、CE認證、UL認證

面板：8 mm厚安全鋼化玻璃  或 10 mm厚度聚碳酸酯 (可供選擇)

尺寸：1123mm(L) x 839mm(H)

硬鋁合金材質或聚甲醛材料 (可供選擇)

口徑 220 mm, O型圈密封

材料：丁基橡膠

厚度： 0.4 mm 或 0.8mm(可供選擇)

檢漏依據 ISO 10648-2 ：1994 / EJ/T 1096-1999《密封箱室——第二部分：密封性分級以及相關的檢驗方法》中的含氧法和壓力變化法對箱體進行檢測，按照一級密封性< 0.05 vol%/h的標準進行最終驗收測試。